山東有研的無塵車間

□張海峰賀瑩瑩劉瀟韓哲

11月18日，山東省人民政府發布關于表彰第十屆山東省省長質量獎及提名獎獲獎單位和個人的通報，山東有研半導體材料有限公司（以下簡稱山東有研）總經理、正高級工程師張果虎榮獲本屆省長質量獎。“這份榮譽既是對個人工作的肯定，更是對企業質量管理體系的認可。”張果虎表示。

集成電路是信息產業的核心，德州市主動融入京津冀協同發展戰略，先后引進了集成電路用大尺寸硅材料規模化生產項目、12英寸集成電路用大硅片產業化項目、集成電路刻蝕設備用硅材料項目硅片等重點項目，形成了包含設計、材料、封裝、測試在內的集成電路產業微集群，其中“有研系”已在德州建設了七大項目。前不久，世界集成電路協會發布《2025年全球集成電路產業綜合競爭力百強城市白皮書》，山東省共有濟南、青島和德州等3個城市入選，德州列第99位。

作為“有研系”落地德州的首個項目，山東有研半導體6—8英寸硅片項目如今已實現月產50萬片的穩定產能。談及項目在行業內保持領先的秘訣，張果虎直言，這離不開企業對產品質量的極致追求。“一片硅材料的生產要經過十幾道工序，每一道工序我們都制定了嚴格的企業內控標準。硅片作為高純度材料，核心要求就是‘平、純、潔’，我們早已把‘質量控制’深度融入工藝DNA之中。”張果虎介紹。產品平整度達到納米級，相當于讓3萬個晶體管“整齊入住”同一層樓，每片硅片都擁有專屬“電子身份證”，上百個工藝參數實時上傳系統，實現產品片片可追溯，甚至能精準定位到單晶原位置。不僅如此，企業還創新應用CPDAS單晶大數據平臺、硅片形貌分析系統、缺陷密度AI判讀系統這三大智能制造“法寶”，用智慧手段為產品質量筑起堅實防線。

回憶起5年前8英寸硅片項目通線量產時的場景，張果虎仍記憶猶新：“當時有人問我，項目面臨的最大挑戰是什么？ 我回答，是如何在激烈的市場競爭中以高質量站穩腳跟。如今我們能在行業內保持優勢，正是因為始終嚴守質量管控標準。產能可以復制，但科技創新與產品質量，才是企業實現高質量發展的關鍵。”

質量的堅守離不開全員參與的文化根基。山東有研多年來堅持每月召開質量分析會、開展全員質量培訓與月度質量員工評選，通過競賽、評比等多元化形式，讓“質量無小事”的理念深入人心。對質量的堅守，讓山東有研贏得了市場與客戶的廣泛認可，生產線常年保持滿產狀態。公司常務副總經理劉斌分享了一個案例：“此前，山東省的集成電路產業發展相較于珠三角、長三角地區存在一定差距。一知名車企在山東建廠，提出每月3萬片硅片的需求——這些硅片將用于新能源核心芯片，對質量要求極高。而我們第二次送樣就成功達標，并且從那時起一直為該車企供應至今。”

如今，山東有研生產的硅片有100多種，廣泛應用于各類芯片產品，背后是企業對新產品研發與技術迭代的持續投入。近期，在特色化硅片產品領域，企業再傳捷報：超低阻硅片已實現規模化量產，市場反響良好；8英寸區熔硅片、超低氧硅片及多晶硅鑄錠等新產品的客戶認證進程正在加速推進，產品結構的多樣性與市場競爭力不斷提升。此外，企業還聯合上游供應商搭建連續拉晶生長平臺，聚焦關鍵原材料、設備與工藝研發，為未來單晶連續生長技術的產業化布局奠定堅實基礎。

目前硅片正朝著大尺寸化、制程精細化方向邁進，但山東有研并未止步于硅片制造，而是將目光投向半導體核心零部件生產領域，逐步向產業鏈下游延伸，持續完善產業布局。“項目落地德州以來，發展速度和投資進度遠超當初預期，這離不開當地政府營造的優質營商環境。”張果虎感慨道，“最初從北京來到德州的200余名核心技術人員，沒有一人離開，如今我們都成了‘新德州人’。近些年，山東省對集成電路產業高度重視，出臺了一系列扶持政策，已在全國乃至全世界的產業版圖和市場競爭中占據了一席之地。我們也期待著，‘十五五’時期，山東的集成電路產業能實現跨越式發展，再上一個大臺階。”