1月30日，在德州職業技術學院集成電路制造工藝實踐中心，光刻機將設計好的電路圖形“雕刻”到硅片上。“這是光刻環節，是決定芯片功能的關鍵一步?！钡轮萋殬I技術學院教師趙寧寧介紹。

近年來，我市將集成電路產業作為“一號產業”全力打造，德州職業技術學院2021年設立集成電路專業，2025年成立集成電路產業學院。但因設備、場地等原因所限，難以提供覆蓋芯片制造全鏈條的真實實訓場景。

為破解這一難題，今年1月份，該院建設的集成電路制造工藝實踐中心投用，建成一條涵蓋薄膜制備、光刻圖形化、刻蝕、清洗去膠、封裝鍵合、功能測試六大模塊的“教學型”芯片制造流程線，實現從一枚裸硅片起步，到最終制作出具備特定功能、可實際測試的集成電路芯片，其制作工藝精度可達3微米。據了解，該中心是我國北方地區職業院校中首個實現從“硅片”到“芯片”全流程制造的實踐教學平臺。

此外，該平臺不僅將企業初級工藝培訓前置到校園，實現學生畢業即上崗，還為本地中小微科技企業及創新團隊提供小批量流片、工藝試驗和原型驗證服務，進一步延展德州市集成電路產業鏈。

“為用好實踐中心，學校將通過課程改革、教材開發、師資鍛煉、‘崗課賽證’融通等方式，進一步提升教學水平，推動集成電路專業實現快速發展。”德州職業技術學院黨委委員、副院長梁強說。

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記者|王露 通訊員|李金甫
編輯|王露
審核|王育恒 終審|李玉梅